●電気抵抗法を活用した精密粒度分布計測（平成18年8月1日）

　



●クリーンルームで生成した粒径分布データー（純水）

運転時間 15分間　　エアー流量 0.７L/min　測定範囲0.5μm〜12.0μm

（運転前）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（運転後）　　　　　
　　　　　　
　総個数52,600個／ml　総個数231,700個／ml　



●クリーンルームで生成した粒径分布データー（水道水）
運転時間 15分間　　エアー流量 0.７L/min　測定範囲0.5μm〜12.0μm
（運転前）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（運転後）
　　　　　　　　
　　総個数19,300個／ml　総個数516,400個／ml



粒度分布表での測定もされています。
（超純水・酸素で生成した粒度分布測定）
（弊社カタログに掲載）



｢コンタミを測定しているのではないか？｣
図�@は細孔電気抵抗法で測定した粒度分布表です。液体は水道水。ナノバブル生成前の1ml中に
19,300個のコンタミ類があることを示しています。
これを原水としてクリーンルーム内の大気にて（吸引量0.7L/min）15分間装置を運転し
ナノバブルを生成したものが図�Aの粒度分布表です。
15分運転後には、1ml中に516,400個に増えています。　

（ 図�@ ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ 図�A ）
　　　　　

また、純水でナノバブルを生成し粒度分布でピーク110,000個のものにある周波数に設定した
超音波をかけた際、0.8μM以下の粒径のものが瞬時に消滅し8,000個まで減少した実験結果が
あります。もしこれがコンタミ類だとするならば超音波をかけても瞬時に消滅することは
ないでしょう。